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磁控溅射_360百科
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本发明属于镀膜设备领域,公开了一种磁控溅射镀膜机,蒸发镀膜室、溅射镀膜室和设置于蒸发镀膜室与溅射镀膜室之间可启闭地的翻板阀,翻板阀开启时蒸发镀膜室与溅射镀膜室连通,翻板阀关闭时将蒸发镀膜室与溅射镀膜室
共18页本实用新型涉及一种滚筒式磁控溅射镀膜机,通过设置在滚筒座上的导电滚轮与溅射滚筒的外侧壁面接触导电的方式,对溅射内腔中的待镀工件施加偏压,导电滚轮可适应于溅射滚筒的转动过程中的电传导,磁控溅射工艺过程中
共1页磁控溅射镀膜机使用说明1,检查水箱液面高于冷却管,三相电指示灯,出气管放到窗外,推荐用纯净水,2,放样品a,打开放气阀,打开侧门,关闭放气阀,或看真空计示数,b,升顶盖c,放靶材,放样品,用万用表检查靶材与外壳是否短路d,降顶画,关侧门3
共2页磁控溅射镀膜机使用说明磁控溅射镀膜机使用说明一、引言磁控溅射镀膜机是一种先进的镀膜设备,它在工业应用中广泛用于制备各种金属、非金属薄膜,从而实现材料表面改性或功能化。本文将详细介绍磁控溅射镀膜机的使用
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简单介绍:该设备是一款小型磁控溅射镀膜仪,主要特点是设备体积小,结构简单紧凑易于操作,对实验室供电要求低;该系列设备主要部件采用进口或者国内优的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的...